1、机械过滤装置：为最基本的废气处理设备之一。其基本原理是利用一些特殊的材料过滤废气中的颗粒和烟尘，从而减轻废气的固体污染物含量。
2、化学吸收塔：化学吸收塔通过在废气处理过程中注入溶液，使废气中的污染物与溶液发生化学反应，从而将废气中的特定有害物质去除。
3、活性炭吸附装置：活性炭吸附装置是将活性炭制成颗粒状并装入吸附器内，废气在经过吸附器时，有害物质在活性炭的表面上被吸附下来，从而达到净化废气的目的。
4、光催化氧化装置：光催化氧化装置主要利用紫外线光解、光催化的原理，加速废气中化学物质在触媒作用下的氧化反应，以达到削减或去除废气污染物的目的。